最早在美國(guó)研究成功。碳化硅反應(yīng)燒結(jié)的工藝過(guò)程為：先將α-碳化硅粉和石墨粉按比例混勻，經(jīng)干壓、擠壓或注漿等方法制成多孔坯體。在高溫下與液態(tài)Si接觸，坯體中的C與滲入的Si反應(yīng)，生成β-碳化硅，并與α-碳化硅相結(jié)合，過(guò)量的Si填充于氣孔，從而得到無(wú)孔致密的反應(yīng)燒結(jié)體。反應(yīng)燒結(jié)碳化硅通常含有8%的游離Si。因此，為保證滲Si的完全，素坯應(yīng)具有足夠的孔隙度。一般通過(guò)調(diào)整最初混合料中α-碳化硅和C的含量，α-碳化硅粒度級(jí)配，C的形狀和粒度以及成型壓力等手段來(lái)獲得適當(dāng)?shù)乃嘏髅芏取?/span>

　　實(shí)驗(yàn)表明，采用無(wú)壓燒結(jié)、熱壓燒結(jié)、熱等靜壓燒結(jié)和反應(yīng)燒結(jié)的碳化硅陶瓷具有各異的性能特點(diǎn)。如就燒結(jié)密度和抗彎強(qiáng)度來(lái)說(shuō)，熱壓燒結(jié)和熱等靜壓燒結(jié)碳化硅陶瓷相對(duì)較多，反應(yīng)燒結(jié)碳化硅相對(duì)較低。另一方面，碳化硅陶瓷的力學(xué)性能還隨燒結(jié)添加劑的不同而不同。無(wú)壓燒結(jié)、熱壓燒結(jié)和反應(yīng)燒結(jié)碳化硅陶瓷對(duì)強(qiáng)酸、強(qiáng)堿具有良好的抵抗力，但反應(yīng)燒結(jié)碳化硅陶瓷對(duì)HF等超強(qiáng)酸的抗蝕性較差。就耐高溫性能比較來(lái)看，當(dāng)溫度低于900℃時(shí)，幾乎所有碳化硅陶瓷強(qiáng)度均有所提高;當(dāng)溫度超過(guò)1400℃時(shí)，反應(yīng)燒結(jié)碳化硅陶瓷抗彎強(qiáng)度急劇下降。(這是由于燒結(jié)體中含有一定量的游離Si，當(dāng)超過(guò)一定溫度抗彎強(qiáng)度急劇下降所致)對(duì)于無(wú)壓燒結(jié)和熱等靜壓燒結(jié)的碳化硅陶瓷，其耐高溫性能主要受添加劑種類(lèi)的影響。

　　總之，碳化硅陶瓷的性能因燒結(jié)方法不同而不同。一般說(shuō)來(lái)，無(wú)壓燒結(jié)碳化硅陶瓷的綜合性能優(yōu)于反應(yīng)燒結(jié)的碳化硅陶瓷，但次于熱壓燒結(jié)和熱等靜壓燒結(jié)的碳化硅陶瓷。